分子增壓泵的結構組成和性能特點
發(fā)布時間：2015年09月11日 09:38 閱讀：5698
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澤德
傳統(tǒng)牽引分子泵的結構簡單、工作壓強高、排氣流量大，然而，在分子流狀態(tài)下抽速僅為渦輪分子泵的5%，加上動輪和靜輪之間的工作間隙小，一般在0.1 mm以下，制造困難，粉塵以及熱脹都會影響泵的正常運行。分子
增壓泵作為新一代產品化的真空泵，該泵是一種兼有中、高真空泵的雙重性能、能耗低、能獲得清潔真空，還能承受大氣沖擊，應用前景十分廣泛。
1.分子增壓泵的結構
分子增壓泵由泵殼、轉子、端蓋、軸承、2個靜輪、動密封輪、3個柱面靜輪等組成。采用雙重分子牽引結構，轉子由平圓盤和柱面構成，無任何葉片。
2.分子增壓泵的性能
(1)能承受大氣沖擊。渦輪分子泵高速運行時，若受到大氣沖擊，往往造成葉片嚴重損壞(俗稱剃光頭)。分子增壓泵不僅取消轉子的全部葉片，簡化動輪結構，提高運行的可靠性。而且，平盤動輪的內側設有大截面的連通氣孔，因此，發(fā)生大氣沖擊時，平盤動輪、2個靜輪、動密封輪的兩側均不會產生大的壓強差，從而，不會產生軸向形變，消除了動輪與靜止部件之間相擦的可能性。此外，轉子兩側柱面動輪剛度大，加上完全對稱，抵消了大氣的沖擊力，因此，受大氣沖擊時，泵轉子不會造成損壞。
(2)工作壓強高、排氣流量大。分子/增壓泵的工作機理屬于牽引分子泵，因此，具有牽引分子泵工作壓強高、排氣流量大等優(yōu)點。
(3)獲得清潔真空。分子增壓泵的抽氣通道在徑向和軸向多次折返，完全不透光，因此，前級油蒸汽返回高真空室的幾率大幅度低于渦輪分子泵。此外，分子增壓泵可以在大氣壓下短時間運行，因此，泵的電源切斷后，真空室可以直接注入保護氣體，有效地擋住前級油蒸汽對高真空室的污染。
(4)節(jié)能。在分子流狀態(tài)，分子/增壓泵的能耗與渦輪分子泵大體相同。但前級泵只有渦輪分子泵的1/4～1/2，加上可采用“沖洗抽氣工藝”，抽氣時間僅為渦輪分子機組的一半，因此，分子/增壓泵機組的總能耗僅為渦輪分子泵機組的25%，即節(jié)能75%。
(5)轉速低，軸承壽命長。分子/增壓泵采用獨特的結構，泵的抽速提高至傳統(tǒng)牽引分子泵的30倍，高于相同轉速的渦輪分子泵的抽速。
(6)能制造大型泵。分子/增壓泵結構簡單,易于制造抽速較大的大型泵。
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